应用服务

Application scenario

北京:010-58856687

上海:021-58964339

深圳:0755-26014752

无锡:0510-68555119

成都:028-86028526

西安:029-88215437

杭州:0571-87077390

首页 >  应用服务 >  双束系统
双束系统



  随着纳米科技的不断进步,人们对材料微纳尺度的加工需求越来越大。聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)双束系统(Dual Beam,DB)因具有高强度聚焦离子束对材料进行微纳米尺度精密加工、并结合扫描电子显微镜(SEM)进行实时观察的优点,充分发挥了聚焦离子束和电子束两者的长处而成为制造纳米器件、加工纳米结构的重要手段和重要方法。目前FIB在微纳米加工、半导体集成电路修补以及材料科学研究等诸多领域有着广泛应用。



双束DB系统设备不仅是强有力的分析工具,而且是强有力的制样工具。运用FIB技术进行SEM垂直制样的方法,取得了比单纯用SEM垂直剖面制样更好的效果,主要优点有:

1)精确定位;

2)多角度观察;

3)多层次观察

















上一篇:TEM样品制备

下一篇:没有