随着纳米科技的不断进步，人们对材料微纳尺度的加工需求越来越大。聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB）双束系统（Dual Beam，DB）因具有高强度聚焦离子束对材料进行微纳米尺度精密加工、并结合扫描电子显微镜（SEM）进行实时观察的优点，充分发挥了聚焦离子束和电子束两者的长处而成为制造纳米器件、加工纳米结构的重要手段和重要方法。目前FIB在微纳米加工、半导体集成电路修补以及材料科学研究等诸多领域有着广泛应用。

双束DB系统设备不仅是强有力的分析工具，而且是强有力的制样工具。运用FIB技术进行SEM垂直制样的方法，取得了比单纯用SEM垂直剖面制样更好的效果，主要优点有：

1）精确定位；

2）多角度观察；

3）多层次观察